マイクロマシンにおけるシリコン加工技術 Silicon Micromachining Technologies Applied to Micromachine Devices

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(2), 106-111, 2000-02-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  20件中 1-20件 を表示

  • <no title>

    橋本

    日本機械学会論文集(C編) 60(574), 2164, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KLAASSEN. E. H.

    Tech.Dig.Transducers-95 556, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    佐藤

    精密工学会誌 53(6), 849, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    伊藤

    応用物理 59(2), 164, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    KOIDE. A.

    Tech.Dig.11th Sensor Symposium 23, 1992

    被引用文献2件

  • <no title>

    佐藤

    電子情報通信学会論文誌C-II J82-C-II(3), 84, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MEHREGANY. M.

    Sensors and Actuators A21-23, 173, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    PAYNE R.

    SAE Int.Automotive Engg.Congr. 127, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    田中

    1992年度精密工学会春季大会講論 883, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAZDI N.

    Proc.IEEE MEMS-99 600, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    KELLER C. G.

    Tech.Dig.of Transducers-95 99, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    BECKER E. W.

    Microelectronic Engg. 4, 35, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    DESPONT M.

    Proc.IEEE MEMS-97 518, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    PARAMESWARAN L.

    Tech.Dig.Transducers-93 274, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    BROSNIHAN T. J.

    Tech.Dig.Transducers-97 637, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKANISHI H.

    Proc.IEEE MEMS-98 609, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    LIN L. Y.

    Electronic Letters 30(5), 448, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • A MENS-Based Projection Display

    van KESSEL P. F.

    Proceed.Of the IEEE 86(8), 1998

    DOI 被引用文献33件

  • <no title>

    WISE K. D.

    J.Vac.Sci.and Tech. 16(3), 936, 1979

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    WALLIS G.

    J.Appl.Phys. 40, 3946, 1969

    DOI 被引用文献16件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561353
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5298161
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ