マイクロマシン　　マイクロマシンにおけるシリコン加工技術

• 佐藤 一雄

  名古屋大学工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Silicon Micromachining Technologies Applied to Micromachine Devices
• カイセツ マイクロマシン ニ オケル シリコン カコウ ギジュツ

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (2), 106-111, 2000

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204064754304
• NII論文ID: 10004561353
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.43.106
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 5298161
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5298161
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles