マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムへの応用 Application of Micro Field Emitters to a Miniature Electron Beam Column

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著者

    • 遠藤 康浩 ENDO Yasuhiro
    • 富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部 Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.
    • 本荘 一郎 HONJO Ichiro
    • 富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部 Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.
    • 伊藤 昭夫 ITO Akio
    • 富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部 Sensing & Control Systems Lab., Peripheral Systems Laboratories, FUJITSU LABORATORIES LTD.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 43(2), 112-118, 2000-02-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  9件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561374
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5298166
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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