容量結合型高周波放電における陰極表面材質の影響 Effects of Cathode Material on Capacitive Coupling RF Plasma

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著者

    • 久保 隆 KUBO Takashi
    • 広島国際学院大学工学部電子工学科 Department of Electronics, Faculty of Engineering, Hiroshima Kokusai Gakuin University
    • 田中 誠 TANAKA Makoto
    • 広島国際学院大学工学部電子工学科 Department of Electronics, Faculty of Engineering, Hiroshima Kokusai Gakuin University

抄録

In this paper dependence of electrode material on plasma parameter was studied. By changing the electrode material from aluminum to graphite, electron densities were measured with a self-compensated Langmuir probe in an asymmetrical parallel plate radio frequency plasma reactor. The results show that the electron densities with the aluminum cathode are greater than that with the graphite cathode.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 43(3), 314-316, 2000-03-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561749
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5361466
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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