超臨界二酸化炭素(CO_2)で処理した超高真空装置用アルミニウム表面の汚染除去と評価 Surface Cleanliness Evaluation of Aluminum for Ultra-high Vacuum Material Treated in Supercritical Fluids CO_2

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抄録

Generally, contaminations on aluminum surface are hydrocarbons, but they are not clarified yet. So, we applied supercritical fluids (SCF) carbondioxide (CO<SUB>2</SUB>) treatment on aluminum where triglyceride was deposited. Contamination removing rate was evaluated with FT-IR.<BR>(1) The peaks of triglyceride were -CH<SUB>3</SUB> and -CH<SUB>2</SUB>- at 2920 cm<SUP>-1</SUP> and 2850 cm<SUP>-1</SUP>, respectively.<BR>(2) Obtained standard lines for evalution are proportional to a square root of contamination of triglyceride in the range from 1% to 30% density. The precision of this standard lines is ±1213%.<BR>(3) Contamination removing rate is in the range of 6798%.Therefore, SCF CO<SUB>2</SUB> is effective to remove triglyceride on the aluminum surface.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 43(3), 341-344, 2000-03-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  5件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561815
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5361564
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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