プラズマ振動の励起による電子密度の磁気プローブ計測 Magnetic Probe Measurements of Electron Density by Excitation of Plasma Oscillation

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抄録

Electron density in nitrogen glow discharge plasma was determined by measuring frequency of plasma oscillation. Plasma oscillation was excited in the glow discharge by using internal cathode placed close to anode. Signal intensity of plasma oscillation was detected by magnetic probe, i.e. magnetic pick-up coil connected to spectrum analyzer.<BR>Spectrum due to the plasma oscillation was clearly observed, and the frequency shifted according to the change of discharge parameters. The electron density measured by the present method was compared with the data of electro-static probe. The present data well agreed with that of the electro-static probe.

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(3), 349-352, 2000-03-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

  • <no title>

    小沼光晴

    プラズマと成膜の基礎, 1986

    被引用文献4件

  • <no title>

    堤井信力

    プラズマ基礎工学, 1986

    被引用文献6件

  • <no title>

    電気学会

    電離気体論, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHAPMAN B.

    Glow Discharge Process, 1980

    被引用文献5件

  • <no title>

    電気学会

    放電ハンドブック, 1969

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHEN Francis F.

    Introduction To Plasma Physics, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    DENDY R. O.

    Plasma Dynamics, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAGASHIMA T.

    J.Phys.Soc.Japan 30, 1971-1978, 1971

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIRAKAWA T.

    Jpn.J.Appl.Phys. 32, 5129-5135, 1993

    DOI 被引用文献1件

  • Electron Plasma Relaxation Processes

    HINO Tomoaki , OZAWA Yasutomo

    Journal of Nuclear Science and Technology 11(5), 169-171, 1974

    J-STAGE DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561824
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5361589
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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