標準混合ガスを用いた残留ガス質量分析計の迅速な感度校正法

• 西脇 みちる

  総合研究大学院大学数物科学研究科

• 加藤 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

書誌事項

タイトル別名

• Quick Calibration of Pressure Sensitivity for Residual Gas Analyzer Using Standard Gas Mixture

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (3), 381-, 2000-03-20

詳細情報

• CRID: 1571417124222787328
• NII論文ID: 10004561883
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles