イオンポンプの履歴と排気時の放出ガス

書誌事項

タイトル別名
  • Outgassing due to the Pump Memory Effect of a Sputter-ion Pump

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (3), 409-, 2000-03-20

参考文献 (1)*注記

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詳細情報

  • CRID
    1571698599200141312
  • NII論文ID
    10004561972
  • NII書誌ID
    AN00119871
  • ISSN
    05598516
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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