イオンポンプの履歴と排気時の放出ガス Outgassing due to the Pump Memory Effect of a Sputter-ion Pump

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収録刊行物

  • 真空  

    真空 43(3), 409, 2000-03-20 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561972
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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