イオンポンプの履歴と排気時の放出ガス
書誌事項
- タイトル別名
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- Outgassing due to the Pump Memory Effect of a Sputter-ion Pump
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収録刊行物
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- 真空
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真空 43 (3), 409-, 2000-03-20
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詳細情報
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- CRID
- 1571698599200141312
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- NII論文ID
- 10004561972
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles