スパッタリング法を用いて酸化マグネシウム基板上に成膜した白金薄膜の表面構造と電気特性

• 三橋 雅彦

  神奈川県産業技術総合研究所

• 大屋 誠志郎

  神奈川県産業技術総合研究所

• 篠原 小太郎

  (株)テクノセブン

• 船場 一郎

  (株)テクノセブン

書誌事項

タイトル別名

• Surface Morphology and Electrical Property of Platinum Films on MgO(100) by Sputtering Deposition

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (3), 421-, 2000-03-20

詳細情報

• CRID: 1570572699292947200
• NII論文ID: 10004562002
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles