サファイア基板上に成長させたZnO:Gaスパッタ膜の諸特性 Properties of ZnO:Ga Films Deposited on a Sapphire Substrate by an rf Magnetron Sputtering

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43(3), 423, 2000-03-20

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    MINAMI T.

    J.Appl.Phys. 23, L280, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    IGASAKI Y.

    SPIE 2364, 510, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    伊ヶ崎泰宏

    真空 32, 301, 1989

    被引用文献3件

  • <no title>

    IGASAKI Y.

    J.Appl.Phys. 69, 2190, 1991

    DOI 被引用文献10件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562008
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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