薄膜基板温度観察装置の試作 Development of Substrate Temperature Observation Equipment

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43(3), 430, 2000-03-20

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    村上

    応物物理連合講演会 271, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562032
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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