ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果

• 池田 佳広

  金沢工業大学AMS R & D C

• 福島 和宏

  金沢工業大学AMS R & D C

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R & D C

• 草野 英二

  金沢工業大学AMS R & D C

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学AMS R & D C

• 金原 粲

  金沢工業大学AMS R & D C

書誌事項

タイトル別名

• N_2 addition to Ar Discharge Gas in Sputter-Deposition of Polyimid Thin Films

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (3), 453-, 2000-03-20

詳細情報

• CRID: 1573387449060055552
• NII論文ID: 10004562099
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles