有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長 Crystal Growth of SiC using Organosilicon Ion Beam

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43(3), 454, 2000-03-20

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    木本

    応用物理 64, 691, 1995

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562101
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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