クライオポンプとクライオトラップの最近の発展 Recent Developement of Cryopumps and Cryotraps

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(4), 469-476, 2000-04-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

  • <no title>

    NIKKEI MICRODEVICE 512, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    HONING R. E.

    RCA Review 363, 1960

    被引用文献1件

  • <no title>

    STERN S. A.

    J.Vac.Sci.Technol. 2, 165, 1965

    被引用文献1件

  • <no title>

    FURUYA S.

    The 12^<TH> International Conference on Ion Implantation Technology '98

    被引用文献1件

  • <no title>

    降矢新治

    ULVAC TECHNICAL JOURNAL 50, 9, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    奥山利久

    プラズマ 核融合学会第13回年回予稿集 155, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    梶原裕之

    ULVAC TECHNICAL JOURNAL 46, 65, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    森本秀敏

    ULVAC TECHNICAL JOURNAL 39, 103, 1992

    被引用文献1件

  • ビ-ム装置(NBI)の排気系

    黒田 勉

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 71(9), 846-855, 1995-09-25

    参考文献12件 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562103
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5367312
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ