Recent Developement of Cryopumps and Cryotraps

• FURUYA Shinji

  Ulvac Cryogenics, Incorprated

Bibliographic Information

Other Title

• 低温における吸着と冷凍技術　　クライポンプとクライオトラップの最近の発展
• クライオポンプ ト クライオトラップ ノ サイキン ノ ハッテン

Journal

• Shinku

  Shinku 43 (4), 469-476, 2000

  The Vacuum Society of Japan

Keywords

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

Details

• CRID: 1390282679041047296
• NII Article ID: 10004562103
• NII Book ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.43.469
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 5367312
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5367312
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles