ホローカソード方式イオンプレーティング法で作製したTi/TiN多層皮膜の耐食・耐摩耗性 Corrosion and Wear Resistance of Films of Ti/TiN Multilayers Deposited by Hollow Cathode Discharge Ion Plating

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

Attempts have been made to reveal a desirable design for a Ti/TiN multilayer as a protector for corrosion and wear at-tacks. Multilayers of Ti/TiN were deposited on two types of chromium molybdenum steels and on a high speed tool steel by switching on and off a reactive gas feed valve. Layer thicknesses were determined by scanning electron microscopy and also estimated from Ti depth profiles obtained by grow discharge atomic emission spectrometry (GD-AES). Corrosion resisitance was evaluated by two types of tests : one is the method where the coated steels were exposed to the gas generated through hydrolyzing a resin mixture of ABS and PVC at 443 K under a pressure of 2.87 MPa, and the other is the critical passivation current density method where a deaerated solution of 0.5 kmol/m<SUP>3</SUP>H<SUB>2</SUB>SO<SUB>4</SUB>-0.05 kmol/m<SUP>3</SUP>KSCN was used as an electrolyte. Ttribology tests were carried out under unlubricated conditions with a reciprocating type testing apparatus. Substrate current is a fairly useful indicator for precise control of layer thickness. GD-AES offers an exact estmation of layer thickness in the matter of minutes, for example, only within 0.4 ks for a multilayer of 56 μm in total thickness. Corrosion tests show that TiN coatings with a thicker Ti underlayer are more protective and that the multilayer coatings possess a better protective function when the ratio of cumulative thickness of Ti layers to that of TiN layers, <I>∑X</I><SUB>Ti</SUB> to <I>∑X</I><SUB>TiN</SUB>, is within 1 to 2. It is possible that an increase in thickness of the outer TiN layer brings about reduction of protection performance. With an increase in intrinsic compressive stress in the TiN layer, abrasive damage progresses more rapidly toward a substrate. The Ti layer contacting to the outer TiN layer suppressed the progression; for multilayers, therefore decreasing the thickness of the outer TiN layer resulted in a decrease in wear loss.

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(4), 524-534, 2000-04-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  35件中 1-35件 を表示

  • <no title>

    社団法人日本鉄鋼協会特基研究会鉄鋼の表面高機能化部会

    気相コーティングによる鉄鋼の表面高機能化, 1995

    被引用文献1件

  • 耐食性ドライコーティング膜の欠陥評価

    社団法人腐食防食協会

    第95回腐食防食シンポジウム資料, 1993

    被引用文献1件

  • 耐食性ドライコーティング膜の欠陥評価II-成膜技術と欠陥評価

    社団法人腐食防食協会

    第105回腐食防食シンポジウム資料, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    門哲男

    防食技術 36, 551, 1987

    被引用文献4件

  • <no title>

    山口聡

    日本金属学会誌 56, 294, 1992

    被引用文献5件

  • <no title>

    石神逸男

    第37回真空に関する連合講演会予稿集 1, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本金属学会誌 59, 303, 1995

    被引用文献3件

  • <no title>

    van STAPPEN M.

    Surf.Eng 5, 305, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    HELMERSSON U.

    J.Vac.Sci.Tecnol A3, 308, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    RICKERBY D. S.

    Proc.IPAT87 206, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    西沢仁

    増補新版ポリマーの難燃化=その化学と実際技術= 195, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    杉本克久

    第95回腐食防食シンポジウム資料 1

    被引用文献1件

  • <no title>

    杉本克久

    気相コーティングによる鉄鋼の表面高機能化 43

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本材料学会

    改著X線応力測定法 54, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    窯業協会編集委員会講座小委員会

    セラミックスの機械的性質 123, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本金属学会誌 63, 949, 1999

    被引用文献2件

  • <no title>

    石神逸男

    大阪府立産業技術総合研究所研究発表会要旨集 88, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    福井勲

    表面技術 40, 255, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    鈴木堅市

    鉄と鋼 73, 565, 1987

    被引用文献5件

  • <no title>

    浦谷文博

    大阪府立産業技術総合研究所研究報告 13, 54, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAVITZKY A.

    Anal. Chem. 36, 1627, 1964

    被引用文献28件

  • <no title>

    黒河圭子

    表面技術 41, 524, 1990

    被引用文献6件

  • <no title>

    樽谷芳男

    気相コーティングによる鉄鋼の表面高機能化 94

    被引用文献1件

  • <no title>

    ERDEMIR A.

    Surf.Coat.Technol 41, 285, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    山本兼司

    気相コーティングによる鉄鋼の表面高機能化 123

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本熱処理技術協会第42回講演大会講演概要集 9, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本熱処理技術協会第44回講演大会講演概要集 37, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    HUBLER R.

    Surf.Coat.Technol 60, 561, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    春名匠

    気相コーティングによる鉄鋼の表面高機能化 58

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本熱処理技術協会第46回講演大会講演概要集 67, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    三浦健一

    日本熱処理技術協会第48回講演大会講演概要集 51, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    久野正人

    日本熱処理技術協会第42回講演大会講演概要集 11, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    村上正紀

    日本金属学会会報 29, 240, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    MASSIANI Y.

    Thin Solid Films. 217, 31, 1992

    DOI 被引用文献3件

被引用文献:  3件中 1-3件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562247
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5367460
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
ページトップへ