ドライポンプ　　各種ドライポンプの現状と課題

• 澤田 雅

  秋田大学工学資源学部機械工学科

書誌事項

タイトル別名

• Present Situation and Problems of Dry Pumps
• カイセツ カクシュ ドライポンプ ノ ゲンジョウ ト カダイ

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (5), 557-563, 2000

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040347392
• NII論文ID: 10004562317
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.43.557
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/05598516
• NDL書誌ID: 5359782
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5359782
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles