アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気 Roots Dry Vacuum Pump Made of Aluminum Cast Alloy and Reactive Gas Pumping

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抄録

Newly released roots type dry vacuum pumps (PDR-C series; ULVAC JAPAN, Ltd.) are described.<BR>Main parts of the pumps consist of aluminum cast alloys. Their high thermal conductivity makes it easy to regulate operation temperature by changing cooling water path. These models have high and low temperature operation modes.<BR>High temperature operation (>120°C) are suitable for Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> CVD, NF<SUB>3</SUB> cleaning and low temperature operation (<100°C) for Cu-CVD, W-CVD processes.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 43(5), 564-571, 2000-05-20 

    The Vacuum Society of Japan

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562333
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5359793
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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