繊維強化プラスチック(FRP)製真空チャンバーの特性 Characteristics of Fiber Reinforced Plastic(FRP)Vacuum Chamber

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抄録

A diode rf plasma reactor made of vinyl ester fiber-reinforced plastics (FRP) was manufactured. Evacuation and etching characteristics of the reactor were investigated. Pyromellitic disnhydride-oxydianiline (PMDA-ODA) polyimide film was etched in the mixtured oxygen and nitrogen trifluoride gas plasma. The etch rate of the polyimide film was 0.9μm/min at 1.2 kW of rf power. Although the reactor was etched slightly with oxygen plasma, this plasma reactor will be utilized in the field of polymer etching.

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(5), 595-598, 2000-05-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

  • <no title>

    八島哲郎

    強化プラスチックス 32(2), 2, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    山中秀介

    強化プラスチックス 33(2), 20, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    EGITTO F. D.

    J.Vac.Sci.Technol. B3, 893, 1985

    被引用文献5件

  • <no title>

    DAWSON A. S.

    Proc.ISHM '94 512, 1994

    被引用文献3件

  • <no title>

    岩森暁

    真空 43(1), 48, 2000

    被引用文献2件

  • <no title>

    TURBAN G.

    J. Electrochem. Soc. SOLID-STATE SCI. AND TECHNOL. 130, 2231, 1983

    DOI 被引用文献6件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562389
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5359852
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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