超臨界二酸化炭素による洗浄技術

• 斎藤 功夫

  工業技術院東北工業技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Cleaning with Supercritical Carbon Dioxide
• チョウリンカイ 2サンカ タンソ ニ ヨル センジョウ ギジュツ

収録刊行物

• 真空

  真空 43 (6), 654-659, 2000

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065611904
• NII論文ID: 10004562458
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.43.654
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 5391754
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5391754
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles