オゾン化超純水洗浄 Ozonized Ultrapure Water Rinsing (OUR)

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著者

    • 浅野 清光 ASANO Kiyomitsu
    • 国立秋田工業高等専門学校電気工学科 Department of Electrical Engineering, Akita National College of Technology

収録刊行物

  • 真空

    真空 43(6), 660-666, 2000-06-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

  • <no title>

    NOGUCHI S.

    Proc.7th Workshop on RF Superconductivity, Gif sur Yvette, 1995 163, 1996

    被引用文献1件

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    ASANO K.

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    被引用文献1件

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    ASANO K.

    Proc.1st Contamination-Its Measurement and Control in Vacuum Systems, A Workshop for Semiconductor Fabrication and Accelerator T 28, 1997

    被引用文献1件

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    ASANO K.

    Proc.7th Workshop on RF Superconductivity, Gif sur Yvette, 1995 419, 1996

    被引用文献1件

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    MITSUNOBU S.

    Proc.7th Workshop on RF Superconductivity, Gif sur Yvette, 1995 735, 1996

    被引用文献1件

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    大見忠弘

    ウルトラクリーンULSI技術 201, 1997

    被引用文献1件

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    浅野清光

    電気学会研究会資料 ED-97-102, 1997

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    浅野清光

    表面科学 10, 475, 1989

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    ASANO K.

    KEK Report88-2

    被引用文献1件

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    MOMOSE T.

    Vacuum 47, 319, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004562480
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5391760
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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