微結晶シリコン系薄膜の成長プロセスと物性 Growth processes and optoelectronic properties of thin film microcrystalline silicon

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著者

    • 近藤 道雄 KONDO Michio
    • 電子技術総合研究所,薄膜シリコン系太陽電池スーパーラボ Thin Film Silicon Solar Cells Super lab., Electrotechnical Laboratory
    • 松田 彰久 MATSUDA Akihisa
    • 電子技術総合研究所,薄膜シリコン系太陽電池スーパーラボ Thin Film Silicon Solar Cells Super lab., Electrotechnical Laboratory

収録刊行物

  • 應用物理  

    應用物理 66(10), 1047-1053, 1997-10-10 

    応用物理学会

参考文献:  31件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004565766
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    4313344
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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