Preparation of thin films and nanosize powders using pulsed power technology

DOI Web Site 3 Citations 33 References
  • YATSUI Kiyoshi
    Laboratory of Beam Technology, Nagaoka University of Technology
  • JIANG Weihua
    Laboratory of Beam Technology, Nagaoka University of Technology

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  • パルスパワー技術を用いた薄膜と超微粒子の作製
  • パルスパワー ギジュツ オ モチイタ ハクマク ト チョウビリュウシ ノ サク

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Abstract

大電力のパルスビーム(レーザービーム,粒子ビームなど)をターゲット材料に照射するとビームのエネルギーを吸収して飛散する(アブレーション).このとき生成されるプラズマは,通常の低密度プラズマとは異なり,非常に高密度で,新しい応用が可能となってきた.本講義では,筆者らが開発したパルスイオンビーム蒸着法やパルス細線放電法による高密度アブレーションプラズマを用いて,薄膜や超微粒子作製について,原理や開発の現状などについて紹介する.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 67 (6), 648-654, 1998

    The Japan Society of Applied Physics

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