大面積イオン・プラズマ流発生技術とその応用

• 安東 靖典

  日新電機株式会社先端技術研究開発部

書誌事項

タイトル別名

• Technology for generation of ion and plasma stream and its application
• ダイ メンセキ イオン プラズマリュウ ハッセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ

抄録

大型基板を対象とするイオン流発生技術の本格的な実用化が始まった.本稿では,液晶ディスプレイ 製造用の大口径高周波イオン源において,ボスフィンガスおよびジボランガスで生成したプラズマ中のイオン種生成について示す.また,ほかのイオン流発生技術についてその動向を示す.

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 67 (6), 655-658, 1998

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• ion
• ion species
• plasma
• phosphine
• dibrane
• RF plasma
• doping
• impurity
• LCD

詳細情報

• CRID: 1390001204595698176
• NII論文ID: 10004566767
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu1932.67.655
• COI: 1:CAS:528:DyaK1cXjsFGht7g%3D
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 4474694
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4474694
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可