イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成 Ion-beam and plasma processing techniques for thin-film synthesis of superhard materials in boron-carbon-nitrogen system

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 67(6), 659-663, 1998-06-10

    応用物理学会

参考文献:  52件中 1-52件 を表示

  • <no title>

    BUNDY F. P.

    Nature 176, 51, 1955

    被引用文献11件

  • <no title>

    SPITSYN B. V.

    J.Crystal Growth 52, 266, 1981

    被引用文献2件

  • <no title>

    MATSUMOTO S.

    J. Mat. Sci 17, 3106, 1982

    被引用文献5件

  • <no title>

    MURAKAWA M.

    Surf. Coat. Technol. 43/44, 128, 1990

    被引用文献5件

  • <no title>

    ANDOH Y.

    Nucl.Instrum.Meth. B59/60, 2496, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    LIU A. Y.

    Science 245, 841, 1989

    被引用文献50件

  • <no title>

    LIU A. Y.

    Phys. Rev. B41, 10727, 1990

    被引用文献16件

  • <no title>

    藤原修三

    NEW DIAMOND 14/1, 1, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    真方顕

    材料科学 23, 237, 1987

    被引用文献2件

  • <no title>

    PEASE R. S.

    Acta Crystallogr. 5, 356, 1952

    被引用文献1件

  • <no title>

    BUNDY F. P.

    J. Chem. Phys. 38, 1144, 1963

    被引用文献9件

  • <no title>

    DEMAZEAU L. Vel. G.

    Mater.Sci.Eng. B10, 149, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    WENTROF R. H.

    J.Chem.Phys. 36, 1990, 1962

    被引用文献1件

  • <no title>

    MISHIMA O.

    Science 238, 181, 1987

    被引用文献6件

  • <no title>

    POWERS M. J.

    Appl.Phys.Lett. 67, 3912, 1995

    被引用文献4件

  • <no title>

    BUSTA H. H.

    J.Appl.Phys. 82, 5148, 1997

    被引用文献5件

  • <no title>

    津田統

    まてりあ 3, 1168, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOSHIDA T.

    Diamond Rel.Mater 5, 501, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    KESTER D. J.

    J. Appl. Phys. 72, 504, 1992

    被引用文献13件

  • <no title>

    NASTASI M.

    Mat.Sci.Rep. 6, 1, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    MCKENZIE D. R.

    Diamond Rel.Mater. 2, 970, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    UHLMANN S.

    Phys.Rev. B51, 4541, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    REINKE S.

    Diamond Rel.Mater. 4, 272, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHHOWALLA M.

    Appl.Phys.Lett. 69, 2344, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    LITVINOC D.

    Appl.Phys.Lett. 71, 1969, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    FANG P. H.

    J.Mater.Sci.Lett. 14, 536, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    高井冶

    NEW DIAMOND 13/4, 4, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    LIU A. Y.

    Phys.Rev. B50, 11231, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    TELLER D. M.

    Science 271, 53, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    GRIMSDITCH M. H.

    Phys.Rev. B11, 3139, 1975

    被引用文献1件

  • <no title>

    GUO Y.

    Chem.Phys.Lett. 237, 712, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    CHEN Y.

    J.Phys.Condens.Mater. 8, L685, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    VEPREK S.

    J.Vac.Sci.Technol. A13, 2914, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    ZHANG Y.

    Appl.Phys.Lett. 68, 634, 1996

    被引用文献7件

  • <no title>

    ZHANG J. Q.

    Jpn.J.Appl.Phys 36, 6894, 1997

    被引用文献7件

  • <no title>

    LI D.

    Appl.Phys.Lett. 67, 203, 1995

    被引用文献6件

  • <no title>

    NIU C.

    Science 261, 334, 1993

    被引用文献37件

  • <no title>

    FUJIMOTO F.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, L420, 1993

    被引用文献11件

  • <no title>

    OGATA K.

    J. Appl. Phys. 76, 3791, 1994

    被引用文献11件

  • <no title>

    MARTON D.

    Phys.Rev.Lett. 73, 118, 1994

    被引用文献19件

  • <no title>

    ZHANG J. Q.

    J, Vac, Sci, Technol. 14, 2163, 1996

    被引用文献5件

  • <no title>

    WATANABE M. O.

    Appl.Phys.Lett. 68, 2962, 1996

    被引用文献3件

  • <no title>

    WENTORF R. H. Jr

    J. Chem. Phys. 26, 956, 1957

    DOI 被引用文献13件

  • <no title>

    INAGAWA K.

    J.Vac.Sci.& Technol. A5, 2696, 1987

    DOI 被引用文献6件

  • <no title>

    FRIEDMANN T. A.

    J.Appl.Phys. 76, 3088, 1994

    DOI 被引用文献12件

  • <no title>

    SETSUHARA Y.

    Nucl.Instrum.Meth. B127/128, 851, 1997

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    KUMAGAI M.

    Nucl.Instrum.Meth. B127/128, 977, 1997

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    INAGAWA K.

    Surface and Coatings Technology 39/40, 253, 1989

    DOI 被引用文献5件

  • <no title>

    MIRKARIMI P. B.

    J.Appl.Phys. 82, 1617, 1997

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    MARTIN-GIL J.

    J.Appl.Phys. 81, 2555, 1997

    DOI 被引用文献5件

  • <no title>

    KNITTLE E.

    Nature 337, 349, 1989

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    WENG-SIEH Z.

    Phys. Rev. B 51, 11229, 1995

    DOI 被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004566779
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    4474695
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ