ラングミューアプローブ法と発光分光法による電子サイクロトロン共鳴メタンプラズマの測定 Measurement of ECR-CH_4 Plasma using Langmuir Probe and an Optical Emission Spectroscopy

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抄録

The electron energy distribution function, <I>F (E) </I>, in ECR-CH<SUB>4</SUB> plasma was measured with the Langmuir probe technique. Increase in microwave power expanded tail of <I>F (E) </I> in the high energy region; the electron density of the high energy region (<I>E</I>> 20 eV) in methane plasma increased non-linearly against the power in the range between 100 W and 400 W. Peak intensities of <I>H</I><SUB>α</SUB>, <I>H</I><SUB>β</SUB>, and CH<SUP>*</SUP> determined from optical emission spectra (370-670 nm) also increased non-linearly with microwave power. The behavior can be explained by contribution of high-energy tail of <I>F (E) </I> to the electron impact dissociation of CH<SUB>3</SUB> radicals.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(5), 565-571, 1999-05-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  14件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004567965
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4761211
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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