第5回スパッタリングおよびプラズマプロセス国際シンポジウム(The Fifth International Symposium on Sputtering & Plasma Processes:ISSP'99)報告

• 大工原 茂樹

Bibliographic Information

Other Title

• ダイ5カイ スパッタリング オヨビ プラズマプロセス コクサイ シンポジウム The Fifth International Symposium on Sputtering Plasma Processes ISSP 99 ホウコク

Abstract

記事種別: 会議・学会報告・シンポジウム

Journal

• 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan

  真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 42 (10), 933-935, 1999-10

  東京 : 日本真空協会

Details

• CRID: 1522825129887196672
• NII Article ID: 10004568614
• NII Book ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 4892130
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4892130
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles