半導体業界における全フッ素化化合物(PFG)と地球温暖化対応 Activity for Preventing Global Warming with PFCs on Semiconductor Industries of Japan

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著者

    • 薮原 要冶 YABUHARA Youji
    • (社)日本電子機械工業会電子デバイス地球温暖化対策実行委員会 Electronic Industries Association of Japan, Committee for Preventing Global Warming

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(11), 957-963, 1999-11-20

    The Vacuum Society of Japan

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004568624
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4921560
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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