真空技術と地球環境　　半導体業界における全フッ素化化合物（ＰＦＣ）と地球温暖化対応

• 薮原 要治

  (社) 日本電子機械工業会電子デバイス地球温暖化対策実行委員会 (株) 日立製作所半導体グループ環境推進センター

書誌事項

タイトル別名

• Vacuum Technology for a Better Global Environment. Activity for Preventing Global Warming with PFCs on Semiconductor Industries of Japan.
• カイセツ ハンドウタイ ギョウカイ ニ オケル ゼン フッソカ カゴウブツ PFC ト チキュウ オンダンカ タイオウ

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (11), 957-963, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679042054912
• NII論文ID: 10004568624
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.957
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4921560
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921560
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles