ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み Efforts to Reduce Greenhouse Gas from Dry Etch Tools

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(11), 964-967, 1999-11-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  7件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004568625
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4921567
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ