真空技術と地球環境　　ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み

• 下田 高広

  東京エレクトロン山梨 (株) ES開発技術部

書誌事項

タイトル別名

• Vacuum Technology for a Better Global Environment. Efforts to Reduce Greenhouse Gas from Dry Etch Tools.
• カイセツ ドライ エッチング ソウチ ニ オケル チキュウ オンダンカ ガス サクゲン ノ トリクミ

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (11), 964-967, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065342592
• NII論文ID: 10004568625
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.964
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4921567
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921567
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles