Vacuum Technology for a Better Global Environment. Efforts to Reduce Greenhouse Gas from Dry Etch Tools.

• SHIMODA Takahiro

  Tokyo Electron Yamanashi Limited ES Development Engineering Dept.

Bibliographic Information

Other Title

• 真空技術と地球環境　　ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み
• カイセツ ドライ エッチング ソウチ ニ オケル チキュウ オンダンカ ガス サクゲン ノ トリクミ

Journal

• Shinku

  Shinku 42 (11), 964-967, 1999

  The Vacuum Society of Japan

Keywords

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

Details

• CRID: 1390001204065342592
• NII Article ID: 10004568625
• NII Book ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.964
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 4921567
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921567
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles