真空技術と地球環境　　半導体製造装置からの全フッ素化合物（ＰＦＣ）排出削減の取組

• 塚田 勉

  アネルバ株式会社半導体装置事業部

書誌事項

タイトル別名

• Vacuum Technology for a Better Global Environment. Measures against PFC Emissions Reduction from Semiconductor Manufacturing Equipments.
• カイセツ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ カラ ノ ゼン フッソ カゴウブツ PFC ハイシュツ サクゲン ノ トリクミ

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (11), 968-974, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065341824
• NII論文ID: 10004568633
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.968
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4921575
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921575
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles