真空技術と地球環境　　半導体技術　　５０年目の曲がり角　　ロードマップに見え隠れする足並みの乱れ

• 桜木 史郎

  ユニオンマテリアル株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Vacuum Technology for a Better Global Environment. Turning Point of Semiconductor Technology-50 Years after Transistor Invention. Technological Instabilities on the Semiconductor Roadmap.
• カイセツ ハンドウタイ ギジュツ 50ネンメ ノ マガリカド ロードマップ ニ ミエカクレ スル アシナミ ノ ミダレ
• Technological Instabilities on the Semiconductor Roadmap
• ロードマップに見え隠れする足並みの乱れ

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (11), 980-986, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065346304
• NII論文ID: 10004568645
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.980
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4921595
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921595
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles