弾道電子放射顕徴鏡を用いた金属/半導体および金属/絶線体/半導体界面のナノ構造と電子状態の解析

  • 三浦 忠男
    科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト 東芝研究開発センター
  • 角谷 透
    科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト ナノテック (株)
  • 田中 俊一郎
    科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト 東芝研究開発センター

書誌事項

タイトル別名
  • Ballistic Electron Emission Microncopy Studies on Nanostructures and Electron States of Metal/Semiconductor and Metal/Insulator/Semiconductor Interfaces.
  • カイセツ ダンドウ デンシ ホウシャ ケンビキョウ オ モチイタ キンゾク ハンドウタイ オヨビ キンゾク ゼツエンタイ ハンドウタイ カイメン ノ ナノ コウゾウ ト デンシ ジョウタイ ノ カイセキ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 42 (12), 1084-1093, 1999

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (32)*注記

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