スピニングロ-タ-真空計の渦電流と温度による誤差の解析 Analysis on Eddy Current and Thermal Influence on the Accuracy of a Spinning Rotor Gauge

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抄録

This paper deals with an analysis on the offset pressure change of a Spinning Rotor Gauge (SRG), which caused by unbalanced eddy current distribution and thermal change in a stainless steel rotor. Themal and electromagnetic analysis method (physical models, equations, simulation algorism) are recognized to have practicability and validity in this analysis that are usefully applied to design a new construction and to operate with carefully treatment.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(12), 1094-1099, 1999-12-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  9件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004568897
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4951910
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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