帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定 Fast Surface Profiling by White-Light Interferometry Using a Sampling Theorem for Band-Pass Signals

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著者

    • 平林 晃 HIRABAYASHI Akira
    • 東京工業大学大学院情報理工学研究科 Graduate School of Information Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
    • 小川 英光 OGAWA Hidemitsu
    • 東京工業大学大学院情報理工学研究科 Graduate School of Information Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
    • 永井 健 NAGAI Ken
    • 松下電器産業(株)半導体開発本部 Semiconductor Development Division, Matsusita Electric Industrial Co., LTD.

収録刊行物

  • 計測自動制御学会論文集  

    計測自動制御学会論文集 36(1), 16-25, 2000-01-30 

    計測自動制御学会

参考文献:  6件

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被引用文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004580553
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00072392
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    04534654
  • NDL 記事登録ID
    4965217
  • NDL 雑誌分類
    ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
  • NDL 請求記号
    Z14-482
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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