帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定

• 平林 晃

• 小川 英光

• 水谷 竜也

書誌事項

タイトル別名

• タイイキ ツウカガタ ヒョウホンカ テイリ オ モチイタ ハクショクコウ カンショウ ニ ヨル ヒョウメン オウトツ ケイジョウ ノ コウソク ソクテイ

収録刊行物

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 36 (1), 16-25, 2000-01

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

詳細情報

• CRID: 1520853835159888512
• NII論文ID: 10004580553
• NII書誌ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL書誌ID: 4965217
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4965217
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles