LSI製造工程からソフトエラー 原因物質(α放射性核種)を排除 するための技術:リン酸中の 極微量^<210>Poの放射化学分析法

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収録刊行物

  • Isotope news  

    Isotope news 541, 8-11, 1999-06-01 

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004586014
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00002400
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    02855518
  • データ提供元
    CJP書誌 
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