LSI製造工程からソフトエラー 原因物質(α放射性核種)を排除 するための技術:リン酸中の 極微量^<210>Poの放射化学分析法

• 中西 孝

  金沢大学理学部

• 福田 裕幸

  (株)富士通研究所

収録刊行物

• Isotope news

  Isotope news 541 8-11, 1999-06-01

詳細情報

• CRID: 1570572699278136960
• NII論文ID: 10004586014
• NII書誌ID: AN00002400
• ISSN: 02855518
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles