窒化物MOVPE成長装置 MOVPE reactor for nitride semiconductors

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  • 應用物理

    應用物理 68(7), 810-811, 1999-07-10

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004650234
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌 
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