アンモニアの除害 Waste gas cleaner for Ammonic

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  • 應用物理

    應用物理 68(7), 814-815, 1999-07-10

    The Japan Society of Applied Physics

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

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    中村修二

    日経エレクトロニクス No. 602, 93, 1994

    被引用文献9件

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    中村修二

    日経サイエンス 10月号, 44, 1994

    被引用文献1件

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    AMANO H.

    Jpn. J. Appl. Phys. 28, L2112, 1989

    被引用文献143件

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    NAKAMURA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, 1258, 1992

    被引用文献39件

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    NAKAMURA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, L139, 1992

    被引用文献66件

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    YOSHIMOTO N.

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    被引用文献18件

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    NIZUTA M.

    Jan.J.Appl.Phys. 25, 945, 1986

    被引用文献1件

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    北原宏一

    UCS半導体基板技術研究会超高純度ガスの科学第2分冊データ編 194, 1994

    被引用文献1件

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    島田孝

    クリーンテクノロジー 12月号, 29, 1994

    被引用文献1件

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    島田孝

    クリーンテクノロジー 12月号, 64, 1998

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004650250
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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