ULSIの微細化と多層配線技術への課題

• 吉川 公麿

書誌事項

タイトル別名

• ULSI ノ ビサイカ ト タソウ ハイセン ギジュツ エ ノ カダイ

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 68 (11), 1215-1225, 1999-11

  東京 : 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1520009410248858624
• NII論文ID: 10004651031
• NII書誌ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 4897315
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4897315
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles