集積回路配線における精密めっき技術 Fine platings on ULSI interconnection technology

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著者

    • 高野 奈央 TAKANO Nao
    • 各務記念材料技術研究所 Kagami Memorial Laboratory for Materials Science and Technology, Waseda University

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 68(11), 1237-1242, 1999-11-10

    応用物理学会

参考文献:  17件中 1-17件 を表示

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    被引用文献1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004651099
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    4897330
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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