メタルCMPの現状と動向 The overview of metal CMP.

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収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 68(11), 1243-1246, 1999-11-10

    応用物理学会

参考文献:  13件中 1-13件 を表示

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    IBM Reserch Number 4, 17, 1997

    被引用文献1件

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    RAGHUNATH C.

    Electrochemical Society Proceeding 96-22, 1, 1996

    被引用文献1件

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    BASAK S.

    Electrochemical Society Proceeding 96-22, 137, 1996

    被引用文献1件

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    KISHII S.

    IEDM Technical Digest 465, 1995

    被引用文献1件

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    POURBAIX M.

    Atlas of Electoro-chemical Equilibrium, 1966

    被引用文献1件

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    LUO Q.

    Proc.1ST Int.CMP for ULSI Multilevel Interconnection Conf. 145, 1996

    被引用文献1件

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    LUO Q.

    Proc.2nd Int.CMP for ULSI Multi level Interconnection Conf. 83, 1997

    被引用文献1件

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    HIRABAYASHI M.

    Proc.1st Int.CMP for Multilevel Interconnection Conf. 119, 1996

    被引用文献1件

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    平林英明

    第59回応用物理学会学術講演会, 講演予稿集 16p-ZL-12, 1998

    被引用文献1件

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    RAMARAJAN S.

    Proc.4th Int.CMP for ULSI Multilevel Inter-connection Conf. 430, 1999

    被引用文献1件

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    MAHULIKAR D.

    Proc.4th Int.CMP for ULSI Multilevel Interconnection Conf. 221, 1999

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    SHIH Y. C.

    Proc.2nd Int.CMP for ULSI Multilevel Interconnection Conf. 237, 1997

    被引用文献1件

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    MATSUMOTO M.

    Proc.4th Int.CMP for ULSI Multilevel Interconnection Conf. 176, 1999

    被引用文献2件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004651117
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    4897332
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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