エピタキシャル成長SiCのパワーデバイスへの応用

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  • エピタキシャル セイチョウ SiC ノ パワーデバイス エ ノ オウヨウ

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  • 応用物理

    応用物理 68 (12), 1384-1387, 1999-12

    東京 : 応用物理学会

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