走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用

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著者

    • 小野 崇人
    • 東北大学大学院工学研究科 Dept.of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University.
    • 江刺 正喜
    • 東北大学未来科学共同センター New Industry Creation Catchery Center, Tohoku University.

収録刊行物

  • 計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 38(12), 763-768, 1999-12-10

    計測自動制御学会

参考文献:  24件中 1-24件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004656336
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00072406
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04534662
  • NDL 記事登録ID
    4977081
  • NDL 雑誌分類
    ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学) // ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
  • NDL 請求記号
    Z14-106
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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