走査型プローブ顕微鏡を用いたナノメーターオーダの計測

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著者

    • 安武 正敏 YASUTAKE M.
    • セイコーインスツルメンツ(株)科学機器事業部技術1部技術2グループ Seiko Instruments Inc., Scientific Instruments Division, Engineering Group 2

収録刊行物

  • 計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers  

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 38(12), 769-775, 1999-12-10 

    計測自動制御学会

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004656361
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00072406
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04534662
  • NDL 記事登録ID
    4977082
  • NDL 雑誌分類
    ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学) // ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
  • NDL 請求記号
    Z14-106
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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