走査型プローブ顕微鏡を用いたナノメーターオーダの計測

• 安武 正敏

Bibliographic Information

Other Title

• ソウサガタ プローブ ケンビキョウ オ モチイタ ナノメーターオーダ ノ ケイソク
• ミニ特集 表面/ナノ構造の計測
• ミニ トクシュウ ヒョウメン ナノ コウゾウ ノ ケイソク

Journal

• 計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers 38 (12), 769-775, 1999-12

  東京 : 計測自動制御学会 ; 1962-

Details

• CRID: 1520572360157036800
• NII Article ID: 10004656361
• NII Book ID: AN00072406
• ISSN: 04534662
• NDL BIB ID: 4977082
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4977082
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles