ナノ組織を有するCr-Bスパッタ薄膜の力学的特性

• 森 正和

  大阪大学大学院

• 柴柳 敏哉

  大阪大学接合科学研究所

• 前田 将克

  大阪大学接合科学研究所

• 奈賀 正明

  大阪大学接合科学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Mechanical Properties of Cr-B Nanostructured Thin Films Fabricated by R.F Sputtering

収録刊行物

• 高温学会誌

  高温学会誌 26 (1), 11-, 2000-01-20

詳細情報

• CRID: 1570009749315200384
• NII論文ID: 10004659170
• NII書誌ID: AN00080051
• ISSN: 03871096
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles