ミラー型ECRプラズマスパッタリングによるSrTiO_3薄膜合成

• 馬場 創

  大阪大学大学院工学研究科

• 坂本 一馬

  近畿大学理工学部

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 姜 文圭

  近畿大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of SrTiO_3 Thin Film with Mirror Confinement Type Electron Cyclotron-Resonance Plasma sputtering

収録刊行物

• 高温学会誌

  高温学会誌 26 (4), 8-, 2000-07-20

詳細情報

• CRID: 1571980074152238848
• NII論文ID: 10004659439
• NII書誌ID: AN00080051
• ISSN: 03871096
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles